擴散爐經(jīng)歷開管-閉管-全封閉(軟著陸)-負壓擴散幾個階段，由于能提升擴散均勻性和產(chǎn)能，降低能耗，實現(xiàn)高方阻(目前70Ω/□，目標90～100Ω/□)。從2015年起，在通威股份、隆基股份等電池片產(chǎn)能擴張較大的產(chǎn)線中，已開始大量使用負壓擴散爐，主要設備生產(chǎn)廠商包括七星華創(chuàng)、豐盛、捷佳創(chuàng)、中電科48所等。技術提升明顯，設備已達國際先進水平：我國光伏專用擴散設備正從處理125mm×125mm、156mm×156mm方硅片向210mm×210mm方硅片邁進，目前仍以156mm×156mm方硅片為主；擴散的質量從原來的單片和整管擴散均勻性在7%以內的水平，提高到目前單片和整管擴散均勻性在4%以內（常規(guī)擴散達到5%以內，負壓擴散達到3%以內）的國際先進水平；擴散方式從原來的開管擴散到現(xiàn)在的負壓擴散；單批次產(chǎn)能從原來的150片、200片、300片發(fā)展到目前的500片，尤其是現(xiàn)今市場應用規(guī)模較大的負壓擴散，單批次產(chǎn)能達到800~1000片，同時能耗及通源量大幅度減少，擴散方阻均勻性大幅度提高。
光伏產(chǎn)業(yè)主要產(chǎn)品產(chǎn)量持續(xù)高增長：2011-2016年間，我國光伏產(chǎn)品產(chǎn)量都在持續(xù)增長，成為世界第一的光伏制造大國。其中2016年多晶硅產(chǎn)量19.4萬噸，同比增長17.6%；硅片產(chǎn)量63GW，同比增長31.3%；電池片產(chǎn)量49GW，同比增長19.5%；光伏組件產(chǎn)量53GW，同比增長15.7%。
光伏產(chǎn)品產(chǎn)量的持續(xù)增長為我國光伏裝備市場發(fā)展營造良好的市場環(huán)境，光伏裝備產(chǎn)業(yè)技術進步明顯加快。“十二五”期間，光伏電池生產(chǎn)設備國產(chǎn)化率達到70%。根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，2015年我國主要晶硅太陽能電池設備制造商銷售收入15.44億元；2016年銷售收入22.84億元，同比增長47.93%。
